過熱蒸汽瞬時滅菌采用高溫過熱蒸汽來滅菌，即利用溫度為130 攝氏度～160 攝氏度的過熱蒸汽噴射于需滅菌的物品上，數秒鐘即可完成滅菌操作，目前過熱蒸汽滅菌技術僅適用于耐熱食品包裝容器(如金屬制品、玻璃制品等)的滅菌。
其方法是當空罐在輸送鏈上通過殺菌室時，過熱蒸汽從上下噴射45 秒，這時罐溫上升到221 攝氏度～224 攝氏度，罐蓋也采用287 攝氏度～316 攝氏度的過熱蒸汽殺菌75 秒～90 秒，這樣的高溫足以殺滅全部的耐熱細菌。由于所有容器和設備均采用過熱蒸汽殺菌，因此無菌程度高，罐頭內部頂隙殘留空氣極少，且處于高真空狀態，產品的質量安全可靠。
蒸汽滅菌按它的滅菌溫度分為：
1、低高溫長時滅菌法：此方法的滅菌溫度為121℃，蒸汽壓力為1.4kg/c㎡,滅菌時間為30min。
2、亞高溫短時滅菌法：此方法的滅菌溫度為132℃，蒸汽壓力為3.2kg/c㎡,滅菌時間為5min。
3、高溫瞬間滅菌法：加熱溫度為：135-210℃；加熱時間為：2-8S;加熱后產品達到藥典無菌要求的殺菌過程稱為UHT滅菌。是利用熱交換或直接蒸氣加熱殺菌后，迅速冷卻的殺菌方法，該方法殺菌效率高，物料產生的物理、化學變化小。
在六十年代成功用于牛奶的滅菌，將牛奶在15-20min內加熱到80℃，繼后迅速將溫度提高至140-150℃，約5S，然后在15-20S內將牛奶迅速冷卻至室溫，滅菌后的牛奶在經無菌包裝系統后，在室溫條件下，不加任何的防腐劑保鮮能達半年以上。由于加熱時間極短，它除了殺滅所有細菌外，牛奶的原色、原味、營養素都保留下來。
