中藥過熱蒸汽又有干蒸汽之稱，不僅能殺滅中藥原生藥粉細菌、霉菌、大腸桿菌等，達到無菌保證要求，還更好保持中藥原生藥粉完整性和穩定性。它的溫度比相同壓力下的干飽和蒸汽溫度更高，比體積更大。干燥狀態下的干飽和蒸汽溫度更高，比體積更大。干燥狀態下的蒸汽具有如同熱空氣一樣可以使物質加熱干燥，溫度高，性質活潑。
中藥制劑生產質量控制已成為實現中藥現代化的瓶頸問題，同時衛生指標的控制又是確保中成藥質量的關鍵問題之一。中藥原生藥粉滅菌工藝的確定需要綜合考慮被滅菌原生藥粉的性質、滅菌方法的有效性和經濟性、滅菌后原生藥粉的完整性和穩定性等因素，確認關鍵參數均在驗證確定的范圍內。在此背景下，多年來國內眾多專家致力于原生藥粉滅菌技術這一課題的研究，以尋找藥效無損失或損失低，不產生毒素或未知物，造價低、操作方便、適合連續化生產的中藥滅菌方法。
中藥過熱蒸汽無稀釋效應，失去一定熱含量后不一定變成汽凝水，傳熱阻力小、加熱效率高、可直接接觸加熱等這些應用，這樣滅菌時用過熱蒸汽粉末原料在滅菌過程中原料就不可能有結塊和粘附現象產生。同時因為具有使物體干燥的特性，從而不必擔心原料水份含量的增加，導致結塊粘附。原料始終能保持著它原有的松散性。滅菌理論認為：滅菌溫度是和細菌的致死時間有密切的關系，原料品質的劣化則又與滅菌時間的長短悠悠相關。
應用效果：
1、在無添加劑的情況下，改善味道。
2、低氧或者微氧環境下加工，可抑制腐化氧化。
3、通過對淀粉α化，促進糖化及蛋白質變性。
4、提高加工階段的殺菌效果，實現短時間內的表面殺菌。
5、對噴灑在表面的防霉劑等農藥可大部分氣化。
6、通過對顏色及氣味成分的控制，使得食材本身的顏色和味道在加工中不被破壞。
7、通過膜狀凝結傳熱實現高速加熱。（熱傳導率是干燥空氣的數倍）。
8、通過中藥過熱蒸汽抑制氧化、通過高速過熱加熱生成凝縮膜、通過酵素失活等提高食品的保鮮能力。
